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一种气氛炉体.pdfVIP

一种气氛炉体.pdf

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    本实用新型提供了一种气氛炉体，包括加热管、多个设在加热管内的反应管及炉门，反应管内被用于放置多个承载了待反应硅片的载舟；多个反应管外设有独立的第一加热体，加热管的内壁设有第二加热体；多个反应管上设有反应气体输入管，反应管的顶壁包含在加热管的顶壁内侧，炉门用于对接加热管的管口及将反应管密封形成封闭的腔体。本实用新型解决了现有技术中立式炉体内因炉体内温度不均，控制难度高而导致硅片扩散质量较低的问题，提升了气氛炉体内温度的均匀性，提升了硅片扩散的质量。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220597694U

    (45)授权公告日2024.03.15

    (21)申请号202322056044.3

    (22)申请日2023.08.02

    (73)专利权人江苏小牛自动化设备有限公司

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