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本发明涉及一种单晶炉，包括炉体和位于炉体内的坩埚组件，所述坩埚组件的上方设置有导流筒，所述导流筒的内部设置有晶棒提升区域，所述晶棒提升区域和所述导流筒之间设置有水冷套，所述水冷套呈筒状结构，所述水冷套包括外表面和内表面，在所述水冷套的径向方向上，所述外表面的截面形状为圆形，所述内表面的截面形状为椭圆形。在所述水冷套的径向方向上，所述水冷套的外表面的截面形状为圆形，所述水冷套的内表面的截面形状为椭圆形。在拉晶过程中，晶棒在旋转过程时将在椭圆形内周形成稳定对称的温度场，加快晶棒中热量辐射至水冷套并及
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117702243A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311727030.8
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司
地
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