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本申请提供一种时间分辨阴极荧光与超快扫描电子成像系统，属于半导体测量技术领域，包括电子显微镜及电子成像系统，用于实现时间分辨的超快电子成像；飞秒激光器；波长选择光路，用于产生超连续光谱并对特定波长进行选择；泵浦光路，用于将目标波长的光脉冲引入电子显微镜的样品室，并对样品进行激发；电子束闸，设置在电子显微镜的镜筒内，且电子束闸位于远离电子显微镜的电子腔的位置，用于产生脉冲电子；频率发生器，与电子束闸连接，用于产生可调的方波信号；阴极荧光收集分析装置，用于收集样品产生的阴极荧光，并对荧光信号进行分析
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705851A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202410167283.2
(22)申请日2024.02.06
(71)申请人北京大学
地址100091
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