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本发明为一种电喷雾原子层气相沉积制膜装置，装置包括从左至右依次设置的：带外套筒的电喷雾毛细管构成的电喷雾电极、中心带有方形通孔的电极板、由相对设置的高压电极与地电极构成的离子筛选区、相对设置的离子偏转/检测板和沉积板；于电极板与离子筛选区之间相间隔的间隙外侧设置有辐射加热源，用于为电极板与离子筛选区之间的区域加热；位于离子筛选区远离电极板一侧的沉积板可沿X轴方向往复运动或平行于Z轴的转轴转动。本发明是将高场非对称波形离子迁移谱在常压下对不同尺寸离子的分类筛选功能，解决不同粒径金属离子共沉积、难以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117702086A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311610980.2
(22)申请日2023.11.29
(71)申请人北京印刷学院
地址102600
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