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本发明公开了一种晶圆传送用大气机械手结构及其传送方法，其中的晶圆传送用大气机械手结构，包括机架，机架上设置有能纵向位移的Z轴驱动装置，Z轴驱动装置上设置有绕Z轴旋转的θ轴驱动装置，θ轴驱动装置上设置有r轴伸缩臂驱动装置，r轴伸缩臂驱动装置上设置有能在各自平面内平面运动的左臂和右臂。本发明公开一种晶圆传送用大气机械手结构及其传送方法，采用了Z轴驱动装置、θ轴旋驱动装置、r轴伸缩臂驱动装置联动实现机械手在柱坐标系内的运动控制；晶圆传送用大气机械手结构的抓手与气动系统装置相连，在机械手的抓手上产生负压
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117697801A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311811926.4
(22)申请日2023.12.27
(71)申请人苏州海通机器人系统有限公司
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