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本实用新型提供了一种载具托架及反应炉，该载具托架包括正相对的第一托板和第二托板，以及两端分别与所述第一托板、所述第二托板连接的若干个连杆；所述第一托板上与所述第二托板相对的表面设有定位块，所述定位块被用于限制放置于第一托板和第二托板之间的空间内载具的位置。本实用新型提供放入载具托架固定放置硅片的载具，结构简单，方便取放载具托架，也方便叠加多个载具托架，实用性强，提升了载具叠加的稳定性，弥补了立式炉体内载具承载装置的空缺。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220597695U
(45)授权公告日2024.03.15
(21)申请号202322055951.6
(22)申请日2023.08.02
(73)专利权人江苏小牛自动化设备有限公司
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