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基于负载感知的晶圆搬运机械臂自适应吸力调节方法.pdfVIP

基于负载感知的晶圆搬运机械臂自适应吸力调节方法.pdf

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    本发明属于晶圆搬运机械臂智能控制技术领域，本发明公开了基于负载感知的晶圆搬运机械臂自适应吸力调节方法，包括：获取吸盘吸附力、晶圆位置坐标和晶圆搬运机械臂移动速度；设计自适应调节算法实时输出晶圆搬运机械臂设备的吸盘吸附力、晶圆位置坐标和晶圆运动状态数据对应的调整指令；根据神经网络控制算法模型在时刻实时输出的调整指令，确定第一机器学习模型的输入数据，训练第一机器学习模型输出实时移动速度调整加速度；确定第二机器学习模型的输入数据，训练第二机器学习模型输出吸盘吸附力调整速率；降低了晶圆损坏和设备故障的风

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117711993A

    (43)申请公布日2024.03.15

    (21)申请号202410168440.1G06N20/00(2019.01)

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