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本实用新型涉及调节装置技术领域，公开一种电子束电镜中的XY方向微动调节装置，微动调节装置包括转动块一、转动块二和调节组件，转动块二转动设于转动块一上，调节组件设置于转动块二的X轴方向和Y轴方向，调节组件包括旋转杆和螺孔结构，旋转杆包括螺距不同的螺纹杆一和螺纹杆二，螺纹杆一固定设置于螺纹杆二的一端，螺孔结构与旋转杆螺纹连接，用于XY方向微动调节。本实用新型微动调节装置，其中利用机械机构进行调节，调节采用螺纹杆与螺纹孔配合，两个螺纹杆的移动差值进行精密调节，而且调节过程操作简单，通过螺纹杆一与螺纹杆
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220604609U
(45)授权公告日2024.03.15
(21)申请号202322289368.1
(22)申请日2023.08.24
(73)专利权人上海大尘微影半导体科技有限公
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