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等离子体-一部分.docx

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    等离子体化工导论讲义

    、尸 、-

    前言等离子体化工是利用气体放电的方式产生等离子体作为化学性生产手段的一门科

    学。因其在原理与应用方面都与传统的化学方法有着完全不同的规律而引起广泛的兴趣，自20世纪70年月以来该学科快速进展，已经成为人们格外关注的兴科学领域之

    一。

    特别是，近年来低温等离子体技术以迅猛的势头在化工合成、材料制备、环境保护、集成电路制造等很多领域得到争论和应用，使其成为具有全球影响的重要科学与工程。例如：先进的等离子体刻蚀设备已成为21世纪目标为0.1卩m线宽的集成电路芯片唯一的选择，利用等离子体增加化学气相沉积方法制备无缺陷、附着

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