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- 2024-03-16 发布于四川
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本发明提供一种晶片舟、沉积设备和基片加工方法，通过设置齿杆来压紧基片，在每个齿杆的一端连接弹性部件，另一端由驱动装置来推动齿杆的运动，使得齿杆的弹性部件处于压缩状态时，晶片舟可以处于放置基片的状态，而在弹性部件复位时，齿杆上的抵接部构成一个接触平面来压紧基片。这样，通过弹性部件的压缩和复位，实现基片的放置和压紧固定，无需额外的卡位结构和卡位动作，在量产中节约时间成本，也减少了硬件成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117711995A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202211084354.X
(22)申请日2022.09.06
(71)申请人江苏微导纳米科技
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