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激光钻孔机的钻孔检测装置、方法及激光钻孔机.pdfVIP

激光钻孔机的钻孔检测装置、方法及激光钻孔机.pdf

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    本发明公开了一种激光钻孔机的钻孔检测装置、方法及激光钻孔机，该装置包括：相机，临近安装于激光钻孔机的光轴，用于采集激光钻孔机在基板上的加工结果的图像；处理模块，用于基于图像进行运算分析，以确定激光钻孔机在基板上的加工结果是否存在异常。本发明通过将相机安装在临近激光钻孔机的光轴位置，随着激光钻孔运动的进行，相机可以实时采集激光钻孔机在基板上的加工结果的图像，同时，处理模块将采集到的图像进行运算分析，及时检测加工过程中可能出现的异常情况，实现实时检测和校准功能，提升用户对加工质量的信心，缩短设备的导

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117697187A

    (43)申请公布日2024.03.15

    (21)申请号202311706107.3

    (22)申请日2023.12.12

    (71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司

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