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本发明公开一种高真空获得系统的集成控制方法、设备及存储介质,涉及真空实验控制技术领域。所述方法包括:获取分子泵的基本信息和预设运行模式,并对高真空获得系统进行状态检测,得到当前的实际工况;根据所述实际工况确定对应的预设运行模式;对所述分子泵的转速、温度和所述高真空获得系统的真空状态进行监测,当所述真空状态满足粗真空气压时,控制所述分子泵启动,并根据所述预设运行模式进行抽气,得到高真空环境;所述粗真空气压为1~100Pa;将所述分子泵的基本信息与监测数据进行关联,并根据时序变化进行数据存储和本地/
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117703805A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311785118.5
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人中国人民解放军国防科技大学
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