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本发明涉及光刻板清洗技术领域，尤其涉及一种光刻板清洗机及其清洗方法，包括一包覆架、一旋转托盘组件、两个上立管与下旋转轴；本发明中的清洗夹具使得清洗夹具与光刻板底面之间形成点接触，从而避免存在化学药液污染，提升光刻板的清洁度，通过本发明中的清洗方法，省去了多个清洗槽的设置，使得本设备的结构紧凑简单化，降低本设备的空间占用率，同时也省去了将光刻板在不同清洗槽之间的转移步骤，避免了多次转移过程中可能存在的磨损情况，从而降低光刻板清洗所需时间，提升光刻板的清洗效率；每个夹具安装组的L形容纳槽与底盘上圆心
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117696517A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311805936.7
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人力集泓光电科技（南通）有限公司
地
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