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本发明涉及微流控生物芯片技术领域，更具体的说是基于两步原位光刻实现微流控芯片键合的方法；方法为：将光刻胶通过流道掩膜版进行光刻制备成光刻胶流道层；将紫外光敏胶对准并压紧在光刻胶流道层上，继续使用与S1相同位置进行光刻；将紫外胶流道层和光刻胶流道层粘合放入显影液中显影，实现初步键合；固化后，放置室温后即可完成键合；本发明的有益效果为解决键合使用环境要求高、成本高、限制微流控芯片的使用范围、容易造成流道阻塞等问题；因此需要一种操作简便、成本低廉且具有良好的流道特性的微流控芯片的键合方式。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117706869A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202410153755.9
(22)申请日2024.02.04
(71)申请人微纳动力（北京）科技有限责任公司
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