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2024-03-16 发布于四川
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本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种清洗设备，包括晶圆清洗单元、缓冲区、摄像头、抓手组件单元和控制处理器，晶圆清洗单元用于清洗晶圆，缓冲区用于临时放置已清洗晶圆，摄像头用于采集晶圆卡环上二维码编号信息，抓手组件单元用于将晶圆清洗单元上的已清洗晶圆抓取到缓冲区中或者将缓冲区中的晶圆抓取到下料框中，控制处理器分别与晶圆清洗单元、摄像头、抓手组件单元相连接，控制处理器用于控制抓手组件单元。采用上述清洗设备，可以将不同批次的晶圆随机收取一同送去清洗，适用单片切割送洗操作模式，工作效率高。

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220604628U

(45)授权公告日2024.03.15

(21)申请号202322293359.X

(22)申请日2023.08.24

(73)专利权人成都先进功率半导体股份有限公

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