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本发明涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造，尤其涉及一种MEMS压电器件及其制备方法，气流传感器和电子烟。本发明MEMS压电器件包括：第一中性层；第一中间电极层、第一压电层、下电极层，自上而下依次形成于第一中性层的下方；第二中间电极层、第二压电层、上电极层，自下而上依次形成于第一中性层的上方；其中，第一中间电极层和第二中间电极层电性连通。本发明中，在第一中性层上、下分别形成压电层，上、下压电层对第一中性层所产生的应力相互抵消，从而提升了整个MEMS压电器件结构内部应力的均匀性，从而减小了器件的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117715501A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311731884.3B81C1/00(2006.01)
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