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本发明提供了一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及半导体器件技术领域，通过在叉指电极的上方形成至少一层导热层，并对该导热层进行图形化处理以去除部分导热层，在该去除区域降低声速，从而在特定交界面位置(电极指条与对向汇流条，或电极指条与假电极指条)之间的间隙区域，即声速最大的区域边界形成降速以得到更大的声速差，从而通过反射杂波来抑制横向模式，并且通过优化去除区域的宽度在主声学模式传播方向上的变化，例如加权渐变等方式，以实现向不同方向进一步反射横向模式的目的，从而破坏其形成谐振的条件，从而来抑制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117713740A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202410036622.3
(22)申请日2024.01.09
(71)申请人浙江星曜半导体有
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