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本发明提供了一种真空标定用材料放气氛围供气装置，包括有：校准室，内置有参考真空规和被标定真空规；样品室，与校准室之间通过一样品气调节阀门连接，且内置有样品舟、全量程真空规以及第一四极质谱仪；第一抽真空模块，与样品室连接以对样品室抽真空；样品室冲洗阀，与样品室连接，用于使高纯氮气输送至样品室冲洗样品；第二抽真空模块，与校准室连接，用于运作以使校准室调节至预设真空度；真空标定单元，用于根据参考真空规和被标定真空规的测量数据，计算出被标定真空规对样品的材料放气氛围的转换系数。还提供了真空标定用材料放气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705639A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202410064493.9
(22)申请日2024.01.16
(71)申请人北京卫星环境工程研究所
地址1
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