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2024-03-16 发布于四川
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一种微波等离子磁性旋转支架.pdf

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本发明公开了一种微波等离子磁性旋转支架，包括，上置料平台，用于放置待清洗芯片；下置料平台，相对于上置料平台的表面平行设置，两者之间设置有磁铁组块；吸气组件，其吸气口位于上置料平台的待清洗芯片的上方，用于将待清洗芯片吸引、脱离上置料平台的表面。本发明通过设置吸气组件，其吸气口位于上置料平台的待清洗芯片的上方，通过吸气作用，可以将待清洗芯片吸引并提升、脱离上置料平台的表面，从而可以使得待清洗芯片的另一表面完全裸露在外，当待清洗芯片的上表面清洗完成后，再通过吸气组件将待清洗芯片吸引提升，则可以充分地与

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117696579A

(43)申请公布日2024.03.15

(21)申请号202410112670.6

(22)申请日2024.01.26

(71)申请人中科光智（重庆）科技有限公司

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