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一种确定电容式微机械超声换能器的谐振频率的方法可以包括：将宽带激励波形引导至超声换能器，其中该激励波形包括频带，该频带包括该超声换能器的预期谐振频率；以及测量该超声换能器的衰荡特性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117715591A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202280051436.6(74)专利代理机构北京安信方达知识产权代理
(22)申请日2022.06.
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