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本申请实施例公开了一种晶圆箱模具,晶圆箱模具用于制备晶圆箱,晶圆箱包括箱体以及与箱体连接的支撑连接器,晶圆箱模具包括主体,主体具有型腔、凹槽以及容纳槽,型腔用于成型箱体,凹槽与型腔连通,容纳槽位于凹槽的槽底,且与凹槽连通;容纳槽用于安装支撑连接器,利用凹槽的侧壁对支撑连接器的熔融材质进行阻挡,以使得支撑连接器的熔融材质停留在凹槽内,从而降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率,以提高晶圆箱的成品良率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220593899U
(45)授权公告日2024.03.15
(21)申请号202322254738.8
(22)申请日2023.08.21
(73)专利权人北京鑫跃微半导体技术有限公司
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