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2024-03-16 发布于四川
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一种全解耦三轴微机械陀螺仪.pdf

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本发明揭示了一种全解耦三轴微机械陀螺仪，其中驱动机构中各离散型驱动框架通过驱动耦合模组依次相连成环状，并在驱动机构外侧接设具有独立质量块的Z轴检测机构，在驱动机构内侧依托于各驱动框架分布设置相互对称的两个X轴检测机构和相互对称的两个Y轴检测机构。应用本发明的全解耦三轴微机械陀螺仪，利用驱动耦合模组将驱动伴生模态放大，极大地增强了陀螺仪的抗振动性；通过对Z轴机械全解耦的设计，使驱动过程对Z轴信号的耦合度降至最低，提高了Z轴的测量精度与稳定性；三轴质量块独立设置，有效降低了各轴之间输出信号的串扰。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117705070A

(43)申请公布日2024.03.15

(21)申请号202311849847.2

(22)申请日2023.12.29

(71)申请人苏州感测通信息科技有限公司

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