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本发明公开了一种压力传感器单元、压力传感器阵列、压力传感器芯片及机器人皮肤。压力传感器单元包括第一薄膜场效应晶体管及压敏件，第一薄膜场效应晶体管的第一栅极与第一薄膜场效应晶体管的第一源极、第一漏极相应设置，第一栅极与第一源极、第一漏极之间形成容置空间；压敏件设于容置空间。通过将压敏件设置在容置空间，当外界作用力施加至压敏件时，压敏件的电阻值将发生改变，第一栅极与第一源极、第一漏极之间的电场也将随之改变，进而第一源极与第一漏极之间的电流信号随之改变，通过检测电流信号，可以实现施加至压敏件的作用力的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705325A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311631117.5
(22)申请日2023.12.01
(71)申请人无锡光子芯片联合研究中心
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