气体分析 动态法制备校准用混合气体 第7部分：热式质量流量控制器 征求意见稿.docx

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GB/TXXXX—XXXX/ISO6145-7:2018

气体分析动态法制备校准用混合气体第7部分：热式质量流量控制器

1范围

ISO6145是一系列涉及用于制备校准用混合气体的各种动态方法的文件。本文件描述了使用热式质量流量控制器，利用纯气或混合气连续制备校准用混合气体的方法。本文件适用于组分不发生反应的混合气体，即组分不与构成热式质量流量控制器或辅助设备流路的材质发生反应。

使用本文件给出的方法制备的校准用混合气体所能达到的最好水平如下：相对测量扩展不确定度（由标准不确定度乘以包含因子k=2得到）U不大于2%。

如使用预混合气体代替纯气，能制备摩尔分数低于10-6的混合气体。质量流量的测量不是绝对的，流量控制器需要单独校准。

本文件方法的优点是能连续制备大量的校准用混合气体，并且只要使用适当数量的热式质量流量控制器，就能像制备二元混合物气体一样方便地制备多组分混合气体。

注：基于热式质量流量控制器的气体混合系统、包括一些计算机处理和自动控制装置，可从市场上获得。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T5275.1气体分析