原创力文档集成电路项目规划设计蓝图
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集成电路项目规划设计蓝图
目录
TOC\h\z10982前言 3
6634一、工艺说明 3
14215(一)、技术管理特点 3
28829(二)、集成电路项目工艺技术设计方案 4
22982(三)、设备选型方案 5
17022二、集成电路项目选址可行性分析 7
14190(一)、集成电路项目选址 7
14410(二)、用地控制指标 7
4063(三)、节约用地措施 9
20241(四)、总图布置方案 10
601(五)、选址综合评价 11
3545三、集成电路项目概论 12
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