2023年微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要.docx

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微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要

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微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要

目录

TOC\h\z30099概论 3

19315一、工艺说明 3

6494(一)、技术管理特点 3

26220(二)、微波集成电路AL2O3基片项目工艺技术设计方案 4

10880(三)、设备选型方案 6

11638二、微波集成电路AL2O3基片项目文档管理 7

1074(一)、文档编制与审查 7

14747(二)、文档发布与分发 8

9013(三)、文档存档与归档 9

25814三、微波集成电路AL2O3基片项目绩效评估

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