微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要
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微波集成电路AL2O3基片项目规划设计纲要
目录
TOC\h\z30099概论 3
19315一、工艺说明 3
6494(一)、技术管理特点 3
26220(二)、微波集成电路AL2O3基片项目工艺技术设计方案 4
10880(三)、设备选型方案 6
11638二、微波集成电路AL2O3基片项目文档管理 7
1074(一)、文档编制与审查 7
14747(二)、文档发布与分发 8
9013(三)、文档存档与归档 9
25814三、微波集成电路AL2O3基片项目绩效评估
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