砷化镓半导体晶圆生产线项目环评报告表.docx

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目 录

一、建设项目基本情况 1

二、建设项目工程分析 22

建设内容 22

项目概况 22

建设规模 23

建设内容 24

平面布置 29

主要设备、原辅材料及燃料 29

水平衡分析 41

工艺流程和产排污环节 45

本项目各生产工序介绍及产排污情况 47

清洗工序及产污环节分析 47

化学气相沉积（CVD）工序及产污环节分析 49

快速升降温（RTP）工序及产污环节分析 50

热氧化工序及产污环节分析 52

物理气相沉积（PVD）工序及产污环节分析 54

电化学沉积工序及产污环节分析 56

光刻工序及产污环节分析 57

刻蚀工序及产污环节分析 61

离子注入 63

背面减薄/划片工序及产污环节分析 65

BUMP凸块工序及产污环节分析 66

电学测试工序 68

大宗气站工艺简述 68

各类污染物排放情况汇总 70

平衡分析 76

氯平衡 76

氟平衡 78

氨平衡 80

硝酸平衡 82

磷平衡 83

硫平衡 84

硅烷平衡 85

挥发性有机物平衡 85

砷平衡 89

金属平衡 90

三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 96

四、主要环境影响和保护措施 122

废气环境影响和保护措施 125

废气产生与收集系统 125

废气污染物排放及治理情况 127

全厂废气排放速率达标分析 141

非正常工况废气排放分析 142

全厂废气排放量及排放口情况 145

大气污染物年排放量核算 146

废气污染防治措施 147

废气环境影响分析 157

废水环境影响和保护措施 157

废水处理系统类型及规模 158

废水污染物排放及治理情况 158

事故状况下污染物排放 166

全厂废水排放量及排放口情况 168

废水污染防治措施 171

依托污水处理厂的环境可行性分析 176

噪声环境影响和保护措施 178

噪声污染源及防治措施 178

噪声环境影响分析 180

固体废物环境影响与保护措施 182

固体废物产生情况 182

固体废物暂存及处置情况 186

地下水环境影响和保护措施 188

地下水污染源及污染途径 188

地下水环境保护措施 189

土壤环境影响和保护措施 190

环境风险分析 192

环保投资 193

环境监测计划 194

污染物排放情况汇总 195

五、环境保护措施监督检查清单 198

六、结论 201

附表 202

建设项目污染物排放量汇总表 202

附图 207

附图1 地理位置图 207

附图2 珠海市香洲区环境管控单元图 208

附图3 广东省“三线一单”生态环境分区管控图 209

附图4 珠海市高新区金鼎组团A305C06管理单元控制性详细规划修改用地规划图 210

附图5 珠海市高新区金鼎永丰片区区域规划范围图 211

附图6 环境质量功能区划图（声环境） 212

附图7 珠海市环境空气质量功能区划分图 213

附图8 珠海市生态控制线分级管制区图 214

附图9 环境质量功能区划图（水环境） 215

附图10 珠海市饮用水源地及保护区划分现状图 216

附图11 项目周边关系图 217

附图12 环境保护目标分布图 218

附图13 总平面布置 219

附图14 本项目环境大气、噪声监测点位示意图 220

附图15 1号生产厂房平面布置图（工艺区划） 221

附图16中山市环境空气质量区划图 222

附图17雨水管网、消防废水收集管线、事故切换阀示意图 223

附图18污水管网图 224

附图19项目运营期环境监测计划监测位置图 225

附图20本项目噪声预测等值线图 226

附件 227

附件1营业执照 227

附件2项目备案证 228

附件3《关于电子行业使用低VOCS含量清洗剂替代乙醇、丙酮的可行性专家咨询意见》 229

附件4类比项目产污情况说明 230

附件5纯废水化学品种类和预估用量 232

附件6拟采用的纯水系统制备流程图 233

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一、建设项目基本情况

建设项目名称

砷化镓半导体晶圆生产线项目

项目代码

2309-440402-04-05-859152

建设单位联系人

联系方式

建设地点

珠海市高新区金瑞二路（道路建设中、龙图科技旁）

（珠海高新技术产业开发区）

地理坐标

（113度31分56.690秒，