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本发明公开了一种永磁体预紧高速倾斜镜,属于高速倾斜镜领域。包括平面反射镜组件、压电致动组件、永磁体预紧装置以及基座;平面反射镜采用钨钢材料。压电致动组件通过固定于基座之上,多个独立的压电陶瓷驱动器按四点对称陈列式排布于基座上的安装凹孔,构成压电致动组件。永磁体预紧装置固定于压电致动组件外侧,底端连接基座。平面反射镜组件与压电陶瓷驱动器的球头部分接触,而与永磁体预紧装置没有接触。本发明采用四点阵列排布方式,利用永磁体为整个反射镜系统提供预紧力,在镜面与永磁体没有产生接触的条件下,简化系统结构,实现
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117724239A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410126951.7
(22)申请日2024.01.30
(71)申请人中国科学院光电技术研究所
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