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本发明提出一种非球面光学元件微应力立式面形检测装置及检测方法，通过在立式激光干涉仪的安装立柱上设计安装一套非球面检测装置，搭建了高精度非球面反射镜面形检测光路，提出了非球面反射镜的高精度面形检测方法流程，解决了传统卧式高度轻量化的非球面反射镜检测光路中轻量化非球面反射镜因镜片自重支撑变形导致测量误差的问题，本发明采用无像差点法可实现对轻量化非球面反射镜的高精度面形检测，可以适用各种轻量化非球面反射镜面形检测，检测方法具有较高的检测精度和较好的通用性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117722980A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311725828.9
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人湖北久之洋红外系
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