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一种测量设备用晶圆取放装置.pdfVIP

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  • 2024-03-20 发布于四川
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一种测量设备用晶圆取放装置.pdf

    本发明公开了一种测量设备用晶圆取放装置，包括取放机构，所述取放机构设置于上下料机构和测量机构的旁边，所述取放机构包括夹具支架，所述夹具支架的中间设有主旋转轴，所述主旋转轴安装于机械臂的连接转盘上，所述夹具支架的两端设有内撑夹具；所述取放机构还配备有转运台；本发明主要利用取放机构将两个转运台在上下料机构和测量机构之间做位置对调，即转运台上的晶圆测量后，在上下料机构处先完成下料，随后工作人员取出测量好的产品，并将待测量产品放入上下料机构处进行上料，同时等待测量机构处的转运台上的晶圆测量完成，然后取放

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117727672A

    (43)申请公布日2024.03.19

    (21)申请号202311736604.8

    (22)申请日2023.12.18

    (71)申请人鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司

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