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本发明涉及应用于碳化硅技术领域的一种碳化硅废料回收工艺，步骤一：先将块状碳化硅废料敲碎分成拳头大小的小块，再将碳化硅废料放入破碎机构进行粉碎处理；步骤二：调整操作粉碎设备将碳化硅废料破碎至多种颗粒目数大小的碳化硅颗粒，后续将多种颗粒目数的碳化硅颗粒混合装入石英舟中，封闭盖子备用；步骤三：准备带有注气孔和抽气孔的管式炉并通入高纯度的氧气，将步骤二中装有碳化硅的石英舟放入管式炉，进行高温氧化除碳，冷却管式炉后取出石英舟，得到脱碳处理的碳化硅，实现将碳化硅废料破碎成不同大小的颗粒，并将不同颗粒混合放入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117720108A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311742439.7
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人郑州恒生科技有限
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