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本申请涉及一种GaNHEMTs器件结温测试装置及方法。GaNHEMTs器件结温测试装置包括：样品台，样品台包括本体和分液管道，本体开设有用于容置分液管道的容纳腔，本体还用于承载待测器件；测温模块，用于测量本体表面的实际温度；冷却设备，用于根据实际温度和预设温度范围调节流过分液管道的冷却液的流量，以使本体表面的温度维持在预设温度范围内；反射率热成像设备，用于获取待测器件对可见光的反射率，并基于反射率获取结温测试结果。本申请的GaNHEMTs器件结温测试装置及方法能使样品台表面的温度始终维持在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117723163A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410172490.7
(22)申请日2024.02.07
(71)申请人中国电子产品可靠性与环境试验研
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