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本发明公开一种双激光晶化装置，用于对非晶硅薄膜进行扫描式激光加热而转化成晶硅薄膜，其包括基座、X轴移动机构、龙门架、Y轴移动机构、Z轴移动机构、防尘壳、激光晶化装置及激光加热装置；X轴移动机构用于驱动非晶硅薄膜沿X轴方向移动完成晶化处理成晶体硅薄膜。龙门架用于承载激光晶化装置及激光加热装置并提供沿Y轴方向的导向；Y轴移动机构用于驱动激光晶化装置及激光加热装置沿Y轴方向移动；Z轴移动机构用于驱动激光晶化装置及激光加热装置沿Z轴方向移动实现聚焦于非晶硅薄膜表面对非晶硅进行加热晶化成晶体硅。本发明对成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117718588A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311764131.2
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人黄剑鸣
地址中国香港新界大埔露
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