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本申请涉及粉末冶金材料的技术领域，具体公开了一种CrAlO复合靶材及其制备方法和应用。本申请公开的CrAlO复合靶材为双层结构，以CrAlO合金靶材为靶材上层，以不锈钢为靶材底层；所述CrAlO合金靶材按原子百分比由以下成分组成：Cr=50‑95at%，α‑Al2O3=5‑50at%。本申请还公开了上述CrAlO复合靶材的制备方法及其应用。本申请利用上述技术方案，可以得到致密度高、杂质元素含量少、抗弯强度高的CrAlO合金靶材，且靶材组织均匀，无偏析，膜层性能良好。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117721425A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311783774.1B22F3/02(2006.01)
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