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本发明提供有利于减少液体喷出装置中的液体的喷出异常的恢复处理所需的时间以及液体使用量的液体喷出装置及其控制方法、基板处理装置及物品制造方法。液体喷出装置具备:多个喷出元件,根据驱动信号而喷出液体;以及控制部,控制所述驱动信号向所述多个喷出元件的每一个的供给,所述控制部在从所述多个喷出元件之中确定了第一喷出元件和喷出异常的程度比所述第一喷出元件低的第二喷出元件作为具有喷出异常的喷出元件的情况下,在使所述多个喷出元件的喷出异常降低的恢复处理中,将第一频率的第一驱动信号不供给到所述第二喷出元件而供给到
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117719257A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311180935.8B41J2/165(2006.01)
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