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本发明提供了一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法,属于超精密修调加工技术领域。为了解决传统的离子束定位方法无法实现离子束精确去除半球谐振子既定位置处纳克级别的质量,对离子束相对于半球谐振子的定位精度较低的问题。在半球谐振子超精密修调过程中,利用白光干涉仪和机床测头可以实现离子束修调位置与理论计算质量不平衡位置精确对应;在一定程度上避免了人为主观因素对于超精密修调半球谐振子的影响,同时可以降低人力成本,实现半球谐振子质量一致性;可实现传统离子束无法实现的半球形结构的对刀
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117718801A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311845823.X
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址15000
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