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2024-03-20 发布于四川
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本申请公开了一种加热盘排气结构和涂胶显影设备，属于半导体加工技术领域。所述加热盘排气结构包括：加热盘，所述加热盘上设有排气口；排气管，所述排气管与所述排气口相连；多个隔板，所述多个隔板沿所述排气管的轴向间隔开布置，任一所述隔板具有与所述排气管的内壁间隔开的侧边，以在所述隔板与所述排气管的内壁之间形成通气口，所述多个隔板沿所述排气管轴向的投影的并集覆盖所述排气管形成的流通通道。根据本申请实施例的加热盘排气结构，通过在排气管内设置多个隔板，可以对排出气体进行顺畅的稳定导流，排气压力波动小，排气压力稳

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117724295A

(43)申请公布日2024.03.19

(21)申请号202311727377.2

(22)申请日2023.12.14

(71)申请人江苏卓胜微电子股份有限公司

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