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本发明涉及玻璃镀膜技术领域，具体涉及一种新型集成气路控制系统及控制方法。系统，包括一集成气路装置，集成气路装置上设有，进气口，接入工艺气体；混合气路，设于集成气路装置内，混合气路为包括多段路径曲折的气道的迷宫式气路，工艺气体通过在混合气路内流动混合获得反应气体；出气口，设于集成气路装置的第二侧连接混合气路的输出端输出反应气体；还包括一反应腔体，反应腔体通过气道和出气口连接，在反应区域内可调节流量地释放反应气体。本发明通过集成气路装置内部迷宫式结构设计和反应腔体内部设置主气反应区域和辅气反应区域结
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117721426A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311514076.1
(22)申请日2023.11.14
(71)申请人中国建材国际工程集团有限公司
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