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预涂布装置.pdfVIP

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  • 2024-03-20 发布于四川
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预涂布装置.pdf

    本实用新型公开了一种预涂布装置。预涂布装置包括预涂布平台、移载台、旋转组件和清洗组件，预涂布平台位移调节在移载台的上端以使预涂布平台的一端靠近或远离涂布基板的一端；移载台的下端固定在旋转组件上，旋转组件可纵向旋转带动移载台上下翻转；清洗组件设置在旋转组件的下方，且用于对翻转朝下状态的预涂布平台的已涂布表面进行清洗。该预涂布装置不仅可有效的消除涂布起始阶段在基板上带来的条纹现象，提高膜的均匀性，且便于预涂布平台表面的清洗以能够重复使用。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220611093U

    (45)授权公告日2024.03.19

    (21)申请号202322227679.5

    (22)申请日2023.08.17

    (73)专利权人极电光能有限公

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