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4章电容式传感器d

章电容式传感器

4d

4.1工作原理、结构特性

4.1工作原理、结构特性

A

δ

ε

A——极板相对覆盖面积；

   δ——极板间距离；

   ε——相对介电常数；

r

   ε——真空介电常数，；

0

   ε——电容极板间介质的介电常数。

4.1.1变极距型电容传感器

变极距(δ）型:(a)、(e)

变面积型(S)型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)（h）

变介电常数(ε)型:（i）～(l)

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4.1.1变极距型电容传感器

4.1.1变极距型电容传感器

初始电容

若极距缩小△δ

则：(非线性关系)

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若△δ/δ<<1时，则上式按级数展开为

0

略去高次(非线性)项，可得近似的线性关系：

灵敏度S为:

考虑线性项和二次项，则相对非线性误差为:

由上讨论可知：(1)变极距型电容传感器只有在

△δ/δ0很小(小测量范围10%)时，才有近似的线性

输出；(2)灵敏度与初始极距的平方成反比，故可

用减少δ0的办法来提高灵敏度。

又由e的表达式可见，δ0的减小会导致非线性f

误差增大；过小还可能引起电容器击穿或短路，为

此，极板间可采用高介电常数的材料(云母、塑料膜

等)作介质。

差动结构，动极板置于两定极板之

间。初始位置时，δ=δ=δ，两边初

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始电容相等。动极板向上有位移∆δ时，

则电容总的相对变化量为:

略去高次项,得:

此时,相对非线性误差为:

4.1.2变面积型电容传感器

4.1.2变面积型电容传感器

当动极板相对于定极板平

移Δl时，其电容量为

电容相对变化量为:

呈线性关系

灵敏度:

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电容式角位移传感器

当θ=0时

当θ≠0时

传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系

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等位环结构均匀电场

等位环结构

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