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一种悬浮二维薄膜的制备方法及其在纳机电气压传感器上的应用，所述的制备方法在所涉及的气压传感器中，悬浮二维材料或悬浮二维异质层作为敏感薄膜使用。悬浮二维材料或二维异质层覆盖在氧化的硅基底的空腔上，电极与悬浮二维材料及异质层相连接，当外在气压发生变化（例如气压减小）时，悬浮二维材料或二维异质层会发生相应的形变（例如向空腔反方向形变），根据二维材料压阻效应，悬浮二维材料或二维异质层的电阻发生变化，检测相应的变化即可相应地检测到外在气压的变化。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117720102A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311729735.3C01B19/00(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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