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MOCVD设备资料国产mocvd设备

德国AIXTRON公司（德国艾思强公司）和美国VEECO公司（美国维易科精密仪器有限公

司）两家公司几乎生产了全球90％以上的主流MOCVD设备。

1、生产效率和成本概况

国际上MOCVD技术已经相当成熟，主流设备从2003年6-8片机、2004年12片机、2005

年15片机、2006年的21-24片机，目前已经达到42、45、49片机（一次可装载49片2

英寸的衬底生长外延）。

外延炉容量的不断扩大让LED外延片生产商的单位生产成本快速大幅下降。目前，量产企

业对单批产能的最低要求是在30片以上。

国产设备目前为6片机，生产效率和生产成本差距甚远。

2、MOCVD价格及产值概况

生产型MOCVD设备的售价高达1000～2000万元【根据机型，6片机70万美元左右，9片

机100万美元左右】，加上相关配套设备设施，一条产线LED生产线需要投入4000多万元。

若新采购设备为45片机生产蓝光芯片，按3炉/天计算，年产4.9万片左右，收入4800万

元，投入产出基本为1:1。

3、生产过程工艺复杂，参数众多，优良率与均匀性是关键

外延片生长过程工艺复杂，参数众多，培养专业操作人员需时