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本发明公开了一种基于远程协议的等离子源通信控制系统及方法，涉及通信控制技术领域，该系统包括：主站、多个从站、EtherCAT通信模块、ARM控制模块、串口通信模块和设备主控模块；主站用于对整个系统进行控制，通过网口发送数据帧实现对从站的控制；从站用于对主站发出的数据帧进行解析，执行操作；EtherCAT通信模块用于实现主站和从站之间的数据传输；ARM控制模块用于提供接口和控制逻辑；串口通信模块用于提供串行通信接口，实现数据交换；设备主控模块根据指令控制设备执行工作；本发明使用EtherCAT技术
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117728925A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410175946.5
(22)申请日2024.02.08
(71)申请人东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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