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真空操纵系统.pdfVIP

真空操纵系统.pdf

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    本发明公开了一种真空操纵系统，用于操纵一被驱动物在真空条件下的移动，真空操纵系统包括：真空密封装置，真空密封装置设有真空腔和若干驱动孔；驱动平台，驱动平台位于真空腔内；驱动部件，驱动部件穿设于驱动孔，且驱动部件的一端与驱动平台连接，另一端位于真空密封装置外；波纹管，波纹管用于密封驱动部件和驱动孔之间的间隙；关节部件，关节部件位于真空腔内，关节部件的一端与被驱动物连接，另一端与驱动平台连接；其中，驱动部件驱动驱动平台、驱动平台驱动关节部件，关节部件带动被驱动物在真空条件下移动。本发明实现了被驱动物

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108962712A

    (43)申请公布日

    2018.12.07

    (21)申请号20171

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