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一种长弧形偏振光双凸透镜.pdfVIP

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  • 2024-03-20 发布于四川
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一种长弧形偏振光双凸透镜.pdf

    本实用新型公开了一种长弧形偏振光双凸透镜，包括凸透镜主体；所述凸透镜主体包含凸面体、以及布置在凸面体侧壁的边沿卡端组件，边沿卡端组件由镜像设置的左边沿卡端和右边沿卡端构成，凸面体由上凸面和下凸面一体化连接构成；所述上凸面与下凸面的外形皆呈长弧形结构，该上凸面的表面设有一号增透膜，下凸面的表面设有二号增透膜；本实用新型非球面状长弧形结构的双凸透镜中心厚度较薄，提高了双凸透镜的出光效率，同时在增透膜的配合下来提升双凸透镜整体的透光率，使得光源均匀性更高，能够在晶圆曝光、蚀刻曝光机上作为偏振光平行光扫

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220626855U

    (45)授权公告日2024.03.19

    (21)申请号202322300958.X

    (22)申请日2023.08.25

    (73)专利权人深圳优卫乐得科技有限公司

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