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本发明公开了一种整体叶盘磁力辅助流固耦合抛光装置及方法，该装置包括立式机架、水平运动系统、竖直运动系统、行星运动系统、旋转系统、各种连接板、容器、磁力旋转模块及控制系统，装置整体呈立式结构；所述方法为整体叶盘工件完全浸入含化学液、磁磨料及其他添加剂的浆液中，进行倾斜行星运动及上下移动等复杂流固耦合抛光；本发明所设计的装备与工艺将水平运动、竖直运动、行星运动、B轴旋转运动及磁力旋转模块集成于一体，并设计容器，结合化学机械流固耦合抛光，可实现工件的复杂运动，解决整体叶盘类复杂工件的高效、高精、低成本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117718807A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410118384.0
(22)申请日2024.01.29
(71)申请人集美大学
地址361021
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