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研磨培训教程

一、 培训计划

第一周：熟悉环境，了解安全和卫生要求，观察整个操作过程。

第二周：练习调钻石点，测片厚及上蜡。

第三周：继续练习之前的内容，同时练习下蜡和清洗。

第四周：继续练习之前的内容，同时练习研磨机和抛光机的操作，并逐渐进行独立操作。

二、 培训内容

研磨这道工序要做的就是把做好电极的外延片从N面进行减薄，抛光，从而达到符合要求的尺寸。要达到这个目的要经过的工序一次是调钻石点，上蜡，减薄，抛光，下蜡，清洗和烘烤。

研磨间的主要设备有研磨机、抛光机、上、下蜡机、水浴锅和烤箱。主要耗材有碳化硅研磨粉、钻石抛光液、蜡、防锈剂、丙酮、酒精和去胶液。

在开始之前，需要做下面这些准备工作：

通知动力部门开通风，排水，送去离子水和压缩空气。

开启空调，温度设定为25°C。

开启恒温循环水机，温度设定在20C。

开启恒温水浴锅，温度设定在80C——85C。

开启上蜡机温度设定120C，压力3kg。

按研磨粉（280）：H2O：防锈剂=5Kg：15L：0.8L配好研磨液待用。测量盘面状况，如盘面测量差20um以上则要求修盘。

测量待研磨的外延片的厚度。

下面详细地讲一下各道工序的操作过程和注意事项：

调钻石点：用扳手将block钻石点调到175±2um，调完之后一定要仔细检查一下。

上蜡：铁盘放在上蜡机上加热到一定的温度，表面干净，无杂物，用蜡均匀地涂在上面，