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ASTM F374-00a 美国材料与试验协会标准.pdfVIP

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  • 2024-03-26 发布于重庆
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ASTM F374-00a 美国材料与试验协会标准.pdf

    Designation:F374–00a

    StandardTestMethodfor

    SheetResistanceofSiliconEpitaxial,Diffused,Polysilicon,

    andIon-implantedLayersUsinganIn-LineFour-PointProbe

    withtheSingle-ConfigurationProcedure1

    ThisstandardisissuedunderthefixeddesignationF374;thenumberimmediatelyfollowingthedesignationindicatestheyearof

    originaladoptionor,inthecaseofrevision,theyearoflastrevision.Anumberinparenthesesindicatestheyea

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