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一种氮化镓激光器及基于反波导改善其横向模式的方法.pdfVIP

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  • 2024-03-23 发布于四川
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一种氮化镓激光器及基于反波导改善其横向模式的方法.pdf

    本申请公开了一种氮化镓激光器及基于反波导改善其横向模式的方法。所述的方法包括：对氮化镓激光器的外延结构进行加工，以将其中的接触层、第二光学限制层和第二波导层部分去除，从而形成脊型结构；在第二波导层表面位于所述脊型结构周围的至少部分区域上设置高折射率薄膜，以形成反波导结构。本申请通过在氮化镓激光器中形成所述的反波导结构，可以实现对脊型结构以外区域有效折射率的调制，为脊型结构与其以外区域的有效折射率差的调制提供了一种有效手段，进而通过调整该有效折射率差的大小，能够抑制更多高阶模式的产生，减小光束质量

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117748292A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202211112921.8H01S5/30(2006.01)

    (22)申请日2022.09.1

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