拉晶炉的对中测试方法、装置、系统及存储介质.pdfVIP

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2024-03-23 发布于四川
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本公开提供了一种拉晶炉的对中测试方法、装置、系统及存储介质。该方法可以包括：在拉晶炉的炉室壁，利用激光雷达在拉晶炉的炉室的径向平面发射激光束，并根据采集到的反射激光束获取所述拉晶炉的炉室的中心轴线；在用于模拟晶棒的吊装治具经由籽晶绳旋转过程中，利用所述激光雷达获取所述吊装治具的尖端的旋转轨迹；其中，所述吊装治具悬挂于所述籽晶绳下方且所述吊装治具的底部为尖端；根据所述吊装治具的尖端的旋转轨迹以及所述炉室的中心轴线确定所述籽晶绳与所述拉晶炉的炉室对中。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117737852A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202311763644.1

(22)申请日2023.12.20

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

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